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HIDEN RGA系列殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀檢測(cè)容器中的存在組分，或進(jìn)行過(guò)程中產(chǎn)生氣體的分析。針對(duì)真空診斷的準(zhǔn)確分析。

分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測(cè)、趨勢(shì)分析、真空診斷的過(guò)程監(jiān)測(cè)和殘余氣體的分析。該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成，并能在分子束外延環(huán)境中長(zhǎng)期使用。