1、樣品制備

 

　　樣品制備是二次離子質(zhì)譜儀分析的前提。通常需要對(duì)樣品進(jìn)行表面清洗、制備表面平整、裝載樣品等處理。因?yàn)闃悠返谋砻婊瘜W(xué)成分和結(jié)構(gòu)會(huì)影響次級(jí)離子的質(zhì)量和分布，所以樣品制備需要充分考慮分析的需要。

 

　　2、樣品加載

 

　　樣品加載是將樣品放置到樣品表面并且固定好，以備加速粒子的轟擊。樣品通常通過(guò)真空吸引于樣品臺(tái)上，并通過(guò)機(jī)械臂進(jìn)行移動(dòng)和調(diào)整位置，以獲得最佳轟擊位置。

 

　　3、儀器調(diào)整

 

　　儀器調(diào)整是保證二次離子質(zhì)譜儀正常運(yùn)行的關(guān)鍵步驟。它包括對(duì)加速器調(diào)整、碰撞單元調(diào)整、磁場(chǎng)調(diào)整、檢測(cè)器調(diào)整等多個(gè)方面的操作。主要目的是保證二次離子的產(chǎn)生和檢測(cè)正常進(jìn)行，并且使得分辨率和靈敏度達(dá)到優(yōu)。

 

　　4、數(shù)據(jù)處理

 

　　數(shù)據(jù)處理是將質(zhì)譜圖中得到的次級(jí)離子質(zhì)量峰與樣品的化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)，得到表面化學(xué)成分、結(jié)構(gòu)和分布等信息的步驟。數(shù)據(jù)處理通常利用專門的軟件進(jìn)行，在計(jì)算和分析中實(shí)現(xiàn)。